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专利号:200810125878
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离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置

离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置。源头的中心轴和引出电极排在一条直线上并通过激光束范该直线和离子束轴是否同轴。因此将离子束轴上的发射激光束的光发射单元装配到外壳以代替源头并将反射激光束的反射镜装配到引出电极。光发射装置还具有检测激光束的功能以检测由反射镜反射的激光束并将该检测的激光束的强度发送到控制单元。调节引出电极的位置以便使激光束的强度变为最大由此离子束轴可以和离子源及引出电极的中心轴相重合。

离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置

一种当调节引出电极的位置时使用的离子束检查装置该引出电极从离子注入半导体内的半导体制造装置中的离子源引出离子束该离子束检查装置包括此   激光束照射装置在离子束轴上从离子源侧朝引出电极照射激光束和    通过位置检测装置检测该照射的激光束通过引出电极的通过位置。
 


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专利号: 200810125878
申请日: 2008年4月9日
公开/公告日: 2008年11月12日
授权公告日:
申请人/专利权人: 精工电子有限公司
国家/省市: 日本(JP)
时:
发明/设计人: 伊藤雅彰
代理人: 刘杰 刘宗杰
专利代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司(72001)
专利代理机构地址: 香港湾仔港湾道23号鹰君中心22字楼()
专利类型: 发明
公开号: 101303956
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 日本2007年4月9日2007-101321
审批历史:
附图数: 8
页数: 12
权利要求项数: 2
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